home Z 550 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded Z 590 upgraded

A 550 VZK upgraded Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

Gebrauchtanlagen, Geräte

Leybold Z 590 ( Die Reinraumanlage für R&D )

Merkmale

6 Katoden D=150mm, Sputter Down Prinzip ( Katoden mit D=75mm und D=100mm mittels Adapterflansch moeglich ).

Durch Umruestung auch 4 Katoden mit D=200mm moeglich!

Automatische Schleuse ( optional vollautomatische Magazinschleuse moeglich! - Referenz dazu erhaeltlich).

Substrattraeger als vollautomatische, hoehenverstellbare Drehtellerversion. Beschichtung statisch, rotierend, oszillierend mit Winkelvorgabe, 6 bis 8 Substratpositionen bei 150-er Katoden, 6 Substratpositionen bei 200-er Katoden.

Sputterfunktionen wahlweise HF/DC, wahlweise mit oder ohne HF-Bias.

HF-Aetzen.

Drehblende, optional mit Hilfsblenden, die die Oeffnungen der Drehblende abdecken.

Mikroprozessor-Steuerung. 40 Beschichtungsprogramme kombinierbar aus 120 Parametersaetzen.

Anlagen- und Prozessvisualisierung ¸über 9"-Bedienterminal.

Pumpsystem mit D65BCS und TMP 1000, Schleuse D8B.

Auf Wunsch kann die Anlage umgerüstet werden auf Simatic-Steuerung mit PC fuer Prozessdaten-Verwaltung, Anlagen- und Prozessvisualisierung und Datalogging.

Ansichten Z590

Darstellung der oberen Matchbox aus Grauraumsicht

Darstellung der oberen Matchbox und der Schleuse aus Reinraumsicht

Anlage aus Reinraumsicht mit Schleusenklappe offen

Ansicht Terminal zur Anlagenvisualisierung mit Regeleinheit für Auto-Matching

Ansicht der Anlage aus Reinraumsicht, alle Türen offen. Auf Grauraumseite ebenfalls mit 3 Türen!

Innenansicht der Prozesskammer

home Z 550 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded Z 590 upgraded

A 550 VZK upgraded Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

zurück