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Gebrauchtanlagen, Geraete
Leybold Z 550 ( Die Laboranlage fuer R&D )
Merkmale
4 Magnetronkatoden D=150mm sind möglich, Sputter Down Prinzip ( Katoden mit D=75mm und D=100mm mittels Adapterflansch moeglich ).
Durch Umruestung auch 3 Katoden mit D=200mm moeglich oder 2 Katoden PK150 und 2 Katoden PK200, jeweils 180° versetzt gegenueberliegend!
Heizung an einer Katodenposition anstatt einer Magnetronkatode möglich.
Sputterfunktionen wahlweise HF/DC, wahlweise mit oder ohne HF-Bias.
HF-Aetzen.
Auch als reine Aetzanlage zu verwenden!
Manuelles Anpassungsnetzwerk fuer HF.
Drehblende in unterschiedlichen Varianten erhaeltlich.
Anlagen- und Prozessvisualisierung ueber 9"-Bedienterminal.
Pumpsystem mit D40B und TMP 450.
Auf Wunsch kann die Anlage umgeruestet werden auf Simatic-Steuerung mit PC fuer Prozessdaten-Verwaltung, Anlagen- und Prozessvisualisierung und Datalogging.
Ansichten Leybold Z550
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