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Gebrauchtanlagen, Geraete

Leybold Z 550 - hoher Rezipient, Schleusenflansch ( Die Laboranlage fuer R&D und Produktion )

Merkmale

Sputteranlage mit 4-5 Magnetron-Katoden D=150mm, Sputter-Down Prinzip (Katoden mit D=75mm und D=100mm mittels Adapterflansch moeglich).

Auch 3 Magnetron-Katoden PK 200 oder 2 Katoden PK150 und 2 Katoden PK 200, jeweils 180° gegenueberliegend moeglich!

Auch als reine Aetzanlage zu verwenden!

Optional teilautomatische Schleuse oder vollautomatische Magazinschleuse moeglich! ).

Als Sputteranlage Sputterfunktionen wahlweise HF/DC, mit oder ohne HF-Bias.

HF-Aetzen.

Als Sputteranlage mit Drehblende in unterschiedlichen Varianten erhaeltlich.

Mikroprozessor-Steuerung, Beschichtungsprogramm kombinierbar aus 120 Parametersaetzen (LAYER) und 40 Rezepten (RECIPE).

Anlagen- und Prozessvisualisierung ueber 9"-Bedienterminal.

Pumpsystem frei bestueckbar.

Auf Wunsch kann die Anlage umgeruestet werden auf Simatic-Steuerung mit PC fuer Prozessdaten-Verwaltung, Datalogging, Anlagen- und Prozessvisualisierung aud TFT-Monitor.

Ansichten Z550 mit hohem Rezipient

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