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Gebrauchtanlagen, Geräte

Leybold Z 590 ( Reinraum Sputteranlage für die Produktion )

Während einer Umbaumaßnahme beim Kunden wurde die Kuhnke 653-W SPS ersetzt durch eine Simatic S7-300 SPS. Die Visualisierung und Prozessdatenverwaltung erfolgt über einen PC in Verbindung mit einem 19" TFT-Monitor. Relevante Prozessdaten werden in einem Excel-File protokolliert. Weiterhin wurde die komplette Vakuummessung umgerüstet auf Messröhren der Fa. Pfeiffer. Die in der Anlage integrierte Wasserverteilung wurde zwecks besserer Zugänglichkeit ausgelagert und an der hinter der Anlage befindlichen Wand montiert. Die pneumatische Ventilinsel wurde ebenfalls erneuert.

Merkmale

Sputter-down Prinzip, 3 Kathodenpositionen PK 200, eine Heizung.

Handschleuse

Hub-Drehantrieb für den Substratteller

Sputtern mit HF/DC, mit oder ohne HF-Bias.

HF-Ätzen.

Pumpsystem: D65BCS und Turbopumpe TMP1000, Schleuse: D8B und TMP 50.

Ansichten Leybold Z590 - ausgelagerte Wasserverteilung

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