home Z 590 Z 550 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded A 550 VZK upgraded

Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

Abgeschlossene Projekte

Beispiel einer Leybold Z 590 - modernisiert

Leybold Z 590 ( Reinraum Sputteranlage für die Produktion )

Die Anlage hatte eine vollautomatisches Beladesystem von Fa. Genmark (USA). Da der Service für dieses System nicht mehr gegeben war, wurde das Beladesystem umgerüstet auf Server und Elevator von Fa. ASYS. Der Beladeroboter kann 6" und 8" Wafer handeln. Die Kuhnke 653-W SPS wurde ersetzt durch eine Simatic S7-300 SPS. Die Visualisierung und Prozessdatenverwaltung erfolgt über einen PC in Verbindung mit einem 19" TFT-Monitor. Relevante Prozessdaten werden in einem Excel-File protokolliert. Weiterhin wurde die komplette Vakuummessung umgerüstet auf Messröhren der Fa. Pfeiffer.

Merkmale

Sputter-down Prinzip, 4 Kathodenpositionen PK 200, 1 Heizstation optional

Vollautomatische Magazinschleuse - Referenzadresse dazu ist erhältlich

Hub-Drehantrieb für den Substratteller

Sputtern mit HF/DC, mit oder ohne HF-Bias.

HF-Ätzen.

Pumpsystem: D65BCS und TMP1000, Schleuse: D16B und TMP 151.

Bilder Leybold Z590

home Z 590 Z 550 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded A 550 VZK upgraded

Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

zurück