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Abgeschlossene Projekte

Beispiel einer Leybold Z 590 - modernisiert

Leybold Z 590 ( Reinraum Sputteranlage für die Produktion )

In einem ersten Umbauabschnitt wurde die teilautomatische Schleuse ausgetauscht gegen eine vollautomatische Magazinschleuse. Die Kommunikation mit der bestehenden Anlagensoftware erfogte über eine Simatic S7-300 SPS. Für eine volle Beladung (Ausschleusen beschichteter Substrate, Einschleusen unbschichteter Substrate) benötigte der Operator bei der teilautomatischen Schleuse ca. 45 Minuten. Diese Zeit verringerte sich mit der Magazinschleuse auf ca. 8 Minuten.

Im zweiten Umbauabschnitt wurde die Kuhnke 653-W SPS ersetzt durch eine Simatic S7-300 SPS. Die Visualisierung und Prozessdatenverwaltung erfolgt über einen PC mit integriertem 17" TFT-Monitor. Relevante Prozessdaten werden in einem Excel-File protokolliert. Weiterhin wurde die komplette Vakuummessung umgerüstet auf Messröhren der Fa. Pfeiffer.

Merkmale

Sputter-down Prinzip, 6 Kathodenpositionen PK 150 (150mm dia.), belegt mit 5 Kathoden, 1 Heizstation

Vollautomatische Magazinschleuse - Referenzadresse dazu ist erhältlich

Hub-Drehantrieb für den Substratteller

Sputtern mit HF/DC, mit oder ohne HF-Bias.

HF-Ätzen.

Pumpsystem: D65BCS und CTI Cryo, Schleuse: D8B und TMP 151.

Bilder Leybold Z590

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