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Abgeschlossene Projekte

Beispiel: Leybold Heraeus A 550 VZK - aufgearbeitet, upgraded

Leybold Heraeus A 550 VZK ( Sputteranlage für die Produktion )

Aufarbeitung einer alten Sputteranlage. Service für die alte Steuereinheit dieser Anlage war nicht mehr möglich. Schaltpläne fehlten. Deshalb wurde der alte Schaltschrank komplett ersetzt mit neuen Komponenten. Der Rest der Anlage wurde komplett aufgearbeitet.

Merkmale

Sputter-down System, 3 Kathoden PK 200 (200mm dia.)

Neuer Schaltschrank

Neuer HF-Generator

Sputter mode HF, mit oder ohne HF-Bias.

HF-Ätzen.

Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, Vakuum-Messung und Gaseinlaßsystem.

PLC - Simatic S7-300

Bilder Leybold-Heraeus A 550 VZK

Schaltschrank, Prozesskammer, Gaseinlaß-System

Pneumatikeinheit, Ventile, Vakuum-Messröhren

Schaltschrank Schwenkrahmen bestückt

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