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Abgeschlossene Projekte

Beispiel: Leybold Heraeus Z 400 - aufgearbeitet, upgraded

Leybold Heraeus Z 400 ( Labor-Sputteranlage )

Aufarbeitung einer Sputteranlage. Die Anlage wurde komplett entkernt. Drehdurchführungen und Ventile wurden gewartet. Beschaffungskritische Komponenten wurden durch neue Komponenten ersetzt.

Merkmale

Ehemalige Labor-Sputteranlage umgebaut.

Neuer DC-Generator

Neues Bedienkonzept und Bedienterminal, Anlagenvisualisierung

Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, neue Wasserverteilung, neue Vakuum-Messung und neues Gaseinlaßsystem.

PLC - Simatic S7-300, OP

Bilder Leybold-Heraeus Z 400

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