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Abgeschlossene Projekte
Beispiel: Leybold Heraeus Z 550 - aufgearbeitet, upgraded
Leybold Heraeus Z 550 ( Sputteranlage für die Produktion )
Aufarbeitung einer Sputteranlage. Die Anlage wurde komplett entkernt. Drehdurchführungen und Ventile wurden gewartet. Beschaffungskritische Komponenten wurden durch neue Komponenten ersetzt.
Merkmale
Sputter-down System, 3 Kathoden PK 150 (152mm dia.)
Sputter mode DC, mit oder ohne HF-Bias. Neuer DC-Generator
Neuer HF-Generator mit Variomatch für Funktion Ätzen/Bias
Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, neue Wasserverteilung, neue Vakuum-Messung und neues Gaseinlaßsystem.
PLC - Simatic S7-300, Visualisierung 18"-TFT
Bilder Leybold-Heraeus Z 550
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